裝置主要由步進(jìn)電機(jī)、液壓伺服變量機(jī)構(gòu)、軸向柱塞泵斜盤(pán)三部分組成。

    步進(jìn)電機(jī)位移量與輸入脈沖成正比，位移速度與輸入脈沖頻率成正比。每輸入一個(gè)脈沖，它就轉(zhuǎn)一個(gè)固定角度(步距角)。輸出轉(zhuǎn)角與輸入脈沖成正比，轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量小，起、停時(shí)間短，輸出轉(zhuǎn)角精度高，雖有相鄰誤差，但無(wú)累計(jì)誤差。伺服變量部分結(jié)構(gòu)及工作原理見(jiàn)圖9-11。

伺服變量采用單獨(dú)油泵供油，外控式不受干擾，控制壓力8.0MPa控制油通過(guò)缸底a孔進(jìn)入殼體下腔。當(dāng)步進(jìn)電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，四邊零開(kāi)口螺旋伺服閥閥芯也順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，相當(dāng)于螺旋槽上升時(shí)閥芯向上移動(dòng)一定距離，c腔的油液通過(guò)閥芯螺旋槽經(jīng)d回油，c腔壓力降低，a腔油壓推動(dòng)隨動(dòng)活塞向上運(yùn)動(dòng)，直到螺旋四邊閥處于零位。隨動(dòng)活塞則通過(guò)軸銷(xiāo)帶動(dòng)變量頭斜盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，使柱塞行程變化以達(dá)到變量目的。

   當(dāng)步進(jìn)電機(jī)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)， 四邊零開(kāi)口螺旋閥芯也逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，螺旋槽下降，相當(dāng)于閥芯下降，控制油經(jīng)a、b及螺旋槽進(jìn)入上腔c； 由于c腔面積比a腔大，在差壓作用下，推動(dòng)隨動(dòng)活塞向下運(yùn)動(dòng)，直至四邊閥芯處于零位為止。隨動(dòng)閥帶動(dòng)軸銷(xiāo)使變量頭轉(zhuǎn)動(dòng)，柱塞行程變大，增大油泵流量。

隨位動(dòng)置式伺服閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作行程大(28mm)，從而降低了工藝要求，提高了零區(qū)分辨率，減少了因油液污染造成的卡死和堵塞等故障。無(wú)節(jié)油孔，閥口開(kāi)口寬lmm，長(zhǎng)12mm，不易被堵塞，另外還加大了驅(qū)動(dòng)力，使隨動(dòng)閥不易卡死。這些措施提高了伺服變量機(jī)構(gòu)的抗污染能力和可靠性。

該系統(tǒng)是電液伺服閥控制的一個(gè)油泵負(fù)載，各環(huán)節(jié)所對(duì)應(yīng)的方框圖及傳遞函數(shù)見(jiàn)